Perovskite Series是钙钛矿专用平台。专为光伏与发光器件领域打造的平台，为钙钛矿基材料的探索与创新提供强大工具。 钙钛矿材料卓越的光吸收与电荷传输特性使其成为太阳能电池研发的热门方向，但金属卤化物的强腐蚀性与高蒸气压给真空沉积带来了严峻挑战。昂斯创贸易（上海）有限公司为其中国独家授权代理，提供选型、原厂技术沟通与全周期服务。
钙钛矿材料卓越的光吸收与电荷传输特性使其成为太阳能电池研发的热门方向，但金属卤化物的强腐蚀性与高蒸气压给真空沉积带来了严峻挑战。
Perovskite Series（钙钛矿系列）平台针对这些难题内置了独特的工艺设计，将自动化能力与专业客户支持相结合，让科研人员能够专注于突破性器件的开发。
- 惰性气氛手套箱集成，滑动腔门可在手套箱内操作
- 低温冷凝高真空泵，采用耐腐蚀、无运动部件设计
- 腔体内外烘烤除气系统
- 掩膜挡板，支持单次多器件制备
- 真空内基片与掩膜交换（4 工位；可选 20 工位存放腔）
核心能力与工艺配置
设备能力需要落到材料、基片、界面、控制与维护场景中理解。以下内容整理自原厂公开资料，用于建立选型边界。
污染控制
高蒸气压材料容易从已镀膜的腔体表面再次蒸发，造成非预期污染。平台为蒸发源、QCM 晶振探头、防护挡板及腔壁提供全面的冷却方案，防止材料再沉积；精细的工程设计确保材料只沉积在预定位置。
水汽控制
水汽会劣化器件性能，并与卤化物材料生成腐蚀性副产物。平台提供沉积前与沉积过程中的整套除湿方案，包括采用无运动部件、耐腐蚀设计的低温冷凝高真空泵，以及腔体内外烘烤除气功能，有效去除吸附水分。
气氛控制
沉积腔体可与惰性气氛手套箱系统联用，滑动腔门可在手套箱内直接操作。鉴于钙钛矿前驱体的强腐蚀性，腔体内表面采用电解抛光的 AISI 304 或 316 不锈钢。
掩膜挡板（Masking Shutter）
掩膜挡板可隔离基片矩阵的不同区域，在单次镀膜中制备多个不同参数的器件，实现薄膜厚度与沉积特性的区域化调控，从而快速筛选出理想的钙钛矿器件性能参数。
真空内基片与掩膜交换
单腔存放/交换平台可容纳最多 4 片基片或掩膜，并在不破坏真空的情况下自动完成交换。可选配第二真空存放腔，将容量扩展至 20 片基片/掩膜。
低能量 TCO 溅射
低能量透明导电氧化物（TCO）溅射方案可保持较低的工艺温度，避免高能等离子体轰击，保护敏感的钙钛矿晶体结构免受损伤。
Aeres 先进工艺控制软件
PC/PLC 控制的工艺配方支持单次、批量或全自动流程；先进的数据记录与工艺追踪；高分辨率控制确保低速率稳定性；中央控制站统一管理多个模块并调度工艺；多腔体独立控制；配方创建与修改简便；PID 控制回路自动整定，缩短工艺开发周期。
钙钛矿热蒸发
针对腐蚀性强、蒸气压高的金属卤化物钙钛矿材料，提供集污染控制、水汽控制与气氛控制于一体的真空热蒸发工艺。
组合式器件筛选
掩膜挡板与真空内基片/掩膜交换功能使单次运行即可获得多种器件变体，加速材料与器件优化。
TCO 电极沉积
以温和的低能量溅射方式在完成的钙钛矿叠层上直接沉积透明导电氧化物电极，不损伤器件结构。
手套箱一体化工作流
基于 Nexdep 等成熟的手套箱一体化平台，实现从装片、沉积到取片的全惰性气氛工作流。
技术规格参考
以下数据整理自 Angstrom Engineering 官方公开资料，用于建立选型边界；最终配置与性能以项目技术协议为准。
- 腔内基片/掩膜存放容量
- Up to 4 (single chamber)
- 第二真空存放腔容量
- Up to 20 substrates/masks
- 腔体内表面材质
- Electropolished AISI 304 or 316 stainless steel
可选配置
以下配置项可按研究路线逐步加入；最终组合由材料体系、目标膜质、样品尺寸与污染隔离要求共同决定。
- 惰性气氛手套箱集成，滑动腔门可在手套箱内操作
- 低温冷凝高真空泵，采用耐腐蚀、无运动部件设计
- 腔体内外烘烤除气系统
- 掩膜挡板，支持单次多器件制备
- 真空内基片与掩膜交换（4 工位；可选 20 工位存放腔）
- 低能量 TCO 溅射源
系统与工艺细节
来自用户的长期反馈
使用这套系统的体验以及 Angstrom Engineering 提供的支持都非常出色。系统操作简便、运行可靠，我一直向合作伙伴推荐 Angstrom 的产品。
