Angstrom Engineering 中国独家授权代理
科研级薄膜沉积系统
科研级薄膜沉积系统
与真空镀膜整体解决方案
昂斯创贸易（上海）有限公司是加拿大 Angstrom Engineering 在中国的独家授权代理，为高校、科研院所与企业研发团队提供 PVD、ALD、PLD、LPCVD 及多腔室自动化集群平台的选型、原厂技术沟通与全周期服务。
1992Angstrom Engineering 创立于加拿大 Kitchener
30+年薄膜沉积系统工程经验
14平台产品系列，覆盖 PVD / ALD / PLD / CVD
100+国内高校、科研院所与企业研发用户
平台产品
从紧凑单腔，到自动化集群
按研究阶段选择合适的设备架构，并为已明确的下一步工艺保留接口。每套系统都由原厂按具体研究任务配置。
平台 01 · 紧凑型 PVD 平台
Covap PVD
紧凑、安全、可靠的科研级热蒸发平台，在有限占地内获得可重复的高质量薄膜。
平台 02 · 可配置 PVD 平台
Nexdep PVD
节省空间且工艺能力完整的可配置平台，支持蒸发、溅射及组合工艺研究。
平台 03 · 长源基距 PVD 平台
Amod PVD
为更长源基距与更多过程增强而优化的研究平台，广泛用于 OLED 与有机电子研究。
平台 04 · 定制化 PVD 平台
EvoVac
为复杂过程增强而生的大腔体平台，几乎所有子系统都可按研究任务定制。
平台 05 · 批量镀膜平台
Box Coater
围绕膜厚均匀性、材料利用率与产能设计，支撑从研究到生产的放大路径。
平台 06 · 多腔室集群平台
Nebula Cluster
用户自定义的多腔室真空集群，在不破坏真空的条件下连接全部工艺模块，为未来扩展预留空间。
沉积技术
同一层薄膜，
同一层薄膜，
可能有完全不同的工艺路径。
蒸发、溅射、ALD、PLD、CVD 与离子束工艺各有适用边界。正确的技术路线，需要同时考虑材料、基片热预算、膜质、覆盖、污染与后续器件结构。
应用方案
从功能层，看到完整器件
把每一层的材料、工艺与环境要求连接起来，才能形成真正可复现的器件流程。
原厂工程 · 中国区服务
不是卖一台"标准设备"，
不是卖一台"标准设备"，
而是共同定义一套长期运行的工艺平台。
材料、基片、膜厚、均匀性、界面、污染、温度、自动化与扩展方向，都会改变系统设计。中国区团队协助把研究需求整理成原厂工程团队可验证的边界，并衔接安装、培训与长期服务。
1
理解研究任务
材料体系、器件结构与验收指标。
2
形成配置边界
与原厂核对工艺、接口与扩展。
AERES 软件
把复杂流程，写成可复用的配方
AERES 将真空、沉积源、气路、膜厚监测、样品台与转运组织为自动化配方：低至约 0.02 Å/s 的稳定速率控制、并行任务调度、完整批次数据记录，以及从单腔设备到 Nebula 集群的统一调度。
用户评价
设备价值，最终由多年运行证明
“
自交付之日起，这套实验室系统的运行几乎无可挑剔，可以说将我们的能力提升到了当今世界任何有机薄膜实验室都难以企及的水平。我认为整套系统的成功，既归功于卓越的工程设计，也归功于 Angst…
Dr. Stephen ForrestUniversity of Michigan
“
在我用过的所有系统中，你们的系统无疑是最可靠、最稳定、也最易用的。
Dr. Marc BaldoMassachusetts Institute of Technology
“
我们的 Angstrom 系统显著提升了有机光伏器件制备工艺的重复性；整体而言，它为我们开发新型器件提供了一个灵活而稳健的平台。
Dr. Sean ShaheenUniversity of Colorado at Boulder
中国用户网络
服务中国科研与先进研发团队
用户覆盖材料、半导体、能源、光电、量子器件与先进制造方向的高校、中国科学院系统与企业研发机构。
清华大学北京大学浙江大学上海交通大学复旦大学武汉大学南方科技大学西湖大学中科院长春应化所中科院半导体研究所中科院微电子研究所山东大学厦门大学华中科技大学南开大学华南理工大学香港大学香港科技大学香港中文大学深圳大学