应用方案
从功能层,看到完整器件
把每一层的材料、工艺与环境要求连接起来,才能形成真正可复现的器件流程。每个应用都整理了工艺要点、平台建议与原厂资料。
01 · 应用方案
应用方案

约瑟夫森结
专为约瑟夫森结制备与超导量子电路打造的薄膜沉积系统。

钙钛矿
面向钙钛矿器件全叠层的真空沉积与手套箱一体化平台——从透明电极到封装一站式完成。

OLED
在不破真空的条件下沉积 OLED 器件的每一层——有机材料、掺杂剂与电极,一站式完成。

薄膜电池
从金属锂蒸发到陶瓷电解质溅射——在惰性气氛与真空互联环境中完成全固态电池叠层制备。

薄膜晶体管
低温、超洁净 PVD 工艺,铸就每一块平板显示器背后的晶体管开关。

透明导电氧化物
高透光、低电阻的 ITO 与 IZO 薄膜,均匀性优于 5%——同时保护下方的敏感器件层。

光学镀膜
精密干涉镀膜——增透膜、滤光片与分束器——依托离子束溅射与实时光学监控技术打造。

空间环境模拟
重现太空极端环境的定制真空模拟舱——相关硬件已随 NASA OSIRIS-REx 任务成功飞行验证。