Covap PVD是紧凑型 PVD 平台。Covap PVD 平台以紧凑、经济而又坚固可靠的设计，为众多工艺应用提供理想解决方案。 Covap 专为需要在有限空间内安全、可靠地制备高重复性、高质量薄膜的实验室而设计。昂斯创贸易（上海）有限公司为其中国独家授权代理，提供选型、原厂技术沟通与全周期服务。
Covap 专为需要在有限空间内安全、可靠地制备高重复性、高质量薄膜的实验室而设计。 各蒸发源相互隔离，可有效降低热效应并防止交叉污染。
Covap PVD 平台配备整套可拆卸的腔体防护屏蔽，腔体清洁与维护极为便捷。 腔体开启时，蒸发源电源、样品台电源及气动压力自动切断，确保最高等级的操作安全。系统既可与手套箱集成，也可选择独立式配置。
- 独立式配置
- 手套箱集成
- 2 源或 4 源热电阻蒸发配置
- 顺序沉积或共蒸发能力
核心能力与工艺配置
设备能力需要落到材料、基片、界面、控制与维护场景中理解。以下内容整理自原厂公开资料，用于建立选型边界。
矩形翻盖式真空腔体
矩形翻盖式腔体设计带来出色的开放性和可达性。即使在手套箱环境中，装载蒸发材料和基片也十分轻松；拆卸屏蔽件、清洁腔体和系统备制均无遮挡、一目了然。
紧凑占地面积
系统占地仅 600 mm × 1000 mm，非常适合空间有限的实验室环境。
高真空性能
采用涡轮分子泵实现高真空环境。
独立隔离的 QCM 膜厚传感器
QCM 石英晶振传感器经过精心隔离设计，可避免相邻蒸发源材料的干扰，确保测厚精度。
基于工艺配方的高级多层膜控制
基于工艺配方（Recipe）的高级多层膜沉积控制，支持顺序沉积与共蒸发（co-deposition）两种模式。
安全联锁保护
腔体开启时自动切断蒸发源电源、样品台电源及气动压力，提供最高等级的安全保障。
手套箱集成就绪
可直接与手套箱集成，也可选择独立式配置，灵活满足惰性气氛工艺需求。
包含完整系统培训
每套 Covap 系统均包含完整的操作与维护培训。
热电阻蒸发
腔体可配置 2 个或 4 个热电阻蒸发源。各蒸发源相互隔离，可降低热效应并防止交叉污染，支持多层膜的顺序沉积或共蒸发工艺。
技术规格参考
以下数据整理自 Angstrom Engineering 官方公开资料，用于建立选型边界；最终配置与性能以项目技术协议为准。
- 系统占地面积
- 600 mm × 1000 mm
- 最大基片尺寸
- 100 mm × 100 mm
- 热电阻蒸发源数量
- 2 或 4 个（2 or 4）
- 腔体形式
- 矩形翻盖式（Rectangular clam shell）
- 高真空泵
- 涡轮分子泵（Turbo-molecular pump）
可选配置
以下配置项可按研究路线逐步加入；最终组合由材料体系、目标膜质、样品尺寸与污染隔离要求共同决定。
- 独立式配置
- 手套箱集成
- 2 源或 4 源热电阻蒸发配置
- 顺序沉积或共蒸发能力
系统与工艺细节
来自用户的长期反馈
在我使用过的所有设备中，你们的系统无疑是最可靠、最稳定、也最易于使用的。
